在半導(dǎo)體制造領(lǐng)域，超高純特種氣體的質(zhì)量是決定芯片性能的關(guān)鍵因素之一。任何微小的雜質(zhì)都可能導(dǎo)致整個(gè)晶圓報(bào)廢，造成巨大的經(jīng)濟(jì)損失。超高純特氣純化器作為氣體凈化的核心設(shè)備，其性能直接影響著半導(dǎo)體制造的精度與效率。深圳恒歌精心打造的 HF 系列、OF 系列和 SF 系列過(guò)濾器，憑借卓越的純化能力，為半導(dǎo)體制造注入了純凈動(dòng)力。

HF 系列高壓氣體專用過(guò)濾器在高壓環(huán)境下的純化表現(xiàn)尤為突出。采用堅(jiān)固的 316L 不銹鋼結(jié)構(gòu)，不僅具備高強(qiáng)度，還擁有出色的耐高溫和耐腐蝕性能，能夠適應(yīng)半導(dǎo)體制造中高壓高純氣體輸送系統(tǒng)和超高純氣體箱系統(tǒng)的復(fù)雜工況。50MPa 的設(shè)計(jì)壓力確保了它在高壓環(huán)境下的穩(wěn)定運(yùn)行，而相對(duì)較輕的重量則減少了安裝時(shí)的負(fù)擔(dān)。螺紋連接方式保證了過(guò)濾器的密封性，并且兼容 C 型和 W 型多種密封規(guī)格，滿足不同系統(tǒng)的連接需求。在純化效果上，它能高效濾除壓縮空氣中的塵埃、鐵銹、油霧及碳?xì)浠衔铮行ПＷo(hù)系統(tǒng)免受污染，提升氣體質(zhì)量，保障設(shè)備高效運(yùn)行。濾芯可更換的設(shè)計(jì)，也讓后期維護(hù)變得簡(jiǎn)便易行。

OF 系列在線式專用氣體過(guò)濾器則專注于高流量電子級(jí)氣體的超純凈化。過(guò)濾精度高達(dá) 0.003μm，意味著它能攔截極其微小的顆粒雜質(zhì)，為氣體純化提供了極高的保障。其結(jié)構(gòu)緊湊、強(qiáng)度高，全焊接 316L 不銹鋼外殼確保了與多數(shù)高純度半導(dǎo)體工藝氣體的兼容性，尤其適用于大宗氣體及惰性氣體。在大流量特種氣體供應(yīng)及超高純度氣棒中，該系列過(guò)濾器發(fā)揮著重要作用，為半導(dǎo)體、LED、光伏及 MEMS 設(shè)備連接提供超高純度過(guò)濾，滿足閥歧管箱、氣柜等工藝需求。高流量、高強(qiáng)度、穩(wěn)定可靠的特點(diǎn)，讓它在高流量場(chǎng)景下也能保持出色的純化效果，可選的其它點(diǎn)位在線安裝方式，更是方便了系統(tǒng)的集成與擴(kuò)展。

SF 系列 IGS 面板專用過(guò)濾器適配于半導(dǎo)體行業(yè)集成氣體輸送與控制系統(tǒng)，在集成化場(chǎng)景中展現(xiàn)出優(yōu)秀的純化能力。兼容 C 型和 W 型多種密封規(guī)格，實(shí)現(xiàn) 0.003μm 級(jí)高效顆粒過(guò)濾，保障 9-LRV 清潔度，為集成系統(tǒng)內(nèi)的氣體純度保駕護(hù)航。支持高達(dá) 100slpm 的大流量，能夠滿足設(shè)備升級(jí)后的流量需求，助力企業(yè)輕松應(yīng)對(duì)產(chǎn)能提升。全 316L 不銹鋼構(gòu)造使其堅(jiān)固耐用，緊湊體型融合全焊接與機(jī)械密封技術(shù)，在保證性能的同時(shí)節(jié)省了安裝空間。采用符合 SEMI 標(biāo)準(zhǔn)的表面安裝元件，便于系統(tǒng)集成與模塊化設(shè)計(jì)升級(jí)，安裝維護(hù)便捷高效，讓用戶在使用過(guò)程中更加省心。

值得信賴的是，這三大系列的超高純特氣純化器都經(jīng)過(guò)了嚴(yán)格的質(zhì)量檢測(cè)。100% 完整性測(cè)試和 100% 氨氣檢漏測(cè)試的通過(guò)，確保了每一臺(tái)設(shè)備都能在實(shí)際運(yùn)行中穩(wěn)定發(fā)揮純化作用，為用戶提供可靠的氣體凈化解決方案。

在半導(dǎo)體技術(shù)不斷革新的今天，對(duì)超高純特氣的需求日益增長(zhǎng)，超高純特氣純化器的重要性也愈發(fā)凸顯。深圳恒歌始終致力于提升產(chǎn)品性能，以先進(jìn)的技術(shù)和可靠的質(zhì)量，為半導(dǎo)體制造企業(yè)提供高品質(zhì)的純化設(shè)備，助力行業(yè)持續(xù)發(fā)展。